量產型橢圓膜厚偏光儀(SOPRA/SE-FPD)

  規格（SPECIFICATION）：
         - For Semicoductor & FPD up to 12″ and G7

  應用（APPLICATION）：
         - SOLAR CELL:AR-Coating
         - TFT-LCD:SIOx,SiNx,a-Si:H,N+a-Si,Photo Resists,ITO
                           Polyimide…
         - SEM:High-k:Al2O3,SiO2,Si3N4,SiNX,HfO2,Ta2O5,ZrO2